原理描述

采用硅片上經表面微加工的多晶硅結構，用多晶硅的彈性元件支撐并提供加速度平衡所需的阻力，結構偏轉是通過有獨立的固定極板和附加在移動物體上的中央極板組成的可變電容來測量的，固定極板通過方波的每π個相位來控制，加速度傳感器受到加速度作用后改變了平衡，使輸出信號的幅度與加速度成正比。

本加速度傳感器是雙軸電壓輸出型和PWM輸出兩用傳感器，輸出與加速度成正比的電壓信號或者輸出與加速度成正比的PWM信號?？梢灾苯舆M行AD采樣或者與微處理器連接。測量范圍正負10g，在測量范圍內有較高的精度，可以測量靜態或者動態加速度，傳感器內部集成了高精密電壓源，工作電壓范圍寬，壓鑄鋁或者塑料防水外殼可選，該加速度傳感器將在慣性導航、地震監測、交通安全、運動測量、電力機械等領域得到廣泛的應用。

三、傳感器特點：

（1）X、Y雙軸測量。

（2）寬量程、高精度

（3）低功耗，平均功耗小于15mA

(4) 可承受高達1000g加速度的沖擊

（5）寬電壓工作，或可定制DC5V、DC12V、DC24V、DC36V等。

（6）高防護等級，其中帶耳壓鑄鋁外殼防護等級IP67。

（7）傳感器具有自測功能。在上電時可自動完成自測校準。

（8）電壓輸出和PWM輸出兩用。

（9）內部全密封灌膠，低溫依賴性好。

四、技術參數